(图)我室举行微纳加工平台大型设备购置专家论证会 - 硫系玻璃 | 宁波大学红外材料及器件实验室
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(图)我室举行微纳加工平台大型设备购置专家论证会
作者: irglass 时间: 2017-03-30 浏览:2,416 次
微纳加工平台良好的实验条件,有利于实施或争取多项国家重要科技计划(如若干重大专项、纳米重大研究计划等),可大幅度提升我室在相关科学研究领域的地位。3月30日,我室举行了对拟建设的微纳加工平台进行了相关大型设备(包括超高精度电子束曝光系统、感应耦合等离子体刻蚀机、磁控溅射系统)购置专家论证会。来自浙江大学的戴道锌教授(国家优青)、时尧成教授,中科院苏州纳米所的边历峰研究员和中科院宁波材料所的黄峰研究员以及本室共10余名教师参加了本次论证会。我室沈祥研究员首先向各位来宾专家介绍了我室情况、拟开展的硫系薄膜及光波导器件研究方向,以及拟购置的相关大型仪器设备的性能和参数。各位专家对实验室拟今后开展的片上集成中红外传感芯片、硫系波导集成超连续谱光源等方向给予了肯定,对购置的设备提出宝贵的建议。最后,与会专家与我室成员深入探讨了硫系中红外传感芯片的技术方案。