近日，我室研究生李娆（第一作者）和张培晴研究员（通讯作者）在Ceramics International期刊上发表了题为“Fabrication of chalcogenide microlens arrays by femtosecond laser writing and precision molding”的论文（2023, 49: 15865-15873. IF = 4.527）。论文链接：https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2023.01.181

       微透镜阵列（microlens array，MLA）是最基本的成像和聚焦器件之一，在微光学的小型化、轻量化、阵列化和集成化发展中发挥着重要作用。特别是在红外探测器领域，MLAs的使用使得入射在探测器死区的光能重新汇聚到光敏表面，从而增加有效填充因子并提高探测距离和灵敏度。

       本文采用飞秒激光辅助化学腐蚀方法，结合精密模压工艺制备出高品质、形状均匀的硫系玻璃MLAs（图1所示）。首先，利用飞秒激光辅助化学腐蚀方法在石英玻璃表面制备了凹形MLA，将其作为精密模压的模具（图2所示）。然后，利用精密模压将模具微结构复制到硫系玻璃表面（图3所示）。这种方法可快速制备具有形貌均匀和成像良好的大规模MLAs（图4所示）。这为红外微透镜的制备提供了一种新的途径。

图1 制备过程示意图：（a）飞秒激光辐射在石英玻璃表面；（b）HF蚀刻得到的石英玻璃模具;（c）As2Se3玻璃与模具模压成型得MLAs；（d）成型后得到的硫系玻璃MLAs

图2 石英玻璃的（a）矩形MLA的显微镜图和（b）六角形MLA的显微镜图

图3（a，b）矩形和六边形硫系玻璃 MLAs的显微镜图像

图4（a，d）MLA的聚焦特性；（b，e）MLA的归一化光强分布特性；（c，f）MLA的红外成像特性