纳米复合薄膜作为存储介质层在降低功耗、减小体积变化等方面展现出了优异的性能。其结晶化过程中微观结构（晶相类型、晶粒尺寸和分布，界面相稳定等）变化对性能的影响至关重要。目前研究缺乏直观微结构表征和一些不确定因素，如非均匀分布，有限尺寸效应，界面结晶特性，仍无法确定详细的界面机理。本工作通过研究激光诱导TiO₂-Sb₂Te薄膜相变行为，研究其复合后微结构与结晶机制，通过沉积态薄膜一次析晶和熔融态薄膜二次析晶实时记录界面微观结构变化（如图1）引起的反射率及结晶度差异，表征了复合原子在界面处的迁移以及对晶相的影响。利用JMA理论证实晶体生长呈界面控制的一维生长模式如图2，且速度很快。该研究成果发表在“Scientific Reports, 2017, 7:46279”。

图1 纳米复合薄膜的微结构演化

图2  40mW激光诱导薄膜结晶的纳米尺度下John-Mehl-Avrami (JMA) 拟合